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半导体干式真空泵-iXL高性能干式真空泵机组

    详细说明

    iXL 系列干泵满足 平板显示器 (FPD)、半导体和太阳能制造市场 领域涉及的所有排气要求。

    这些性能领先的 泵旨在最大限度地提高基板吞吐量，同时尽可能降低功耗、 占地面积和重量。此外，大修间隔期内无须 维护。


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